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分析了用反应离子刻蚀（RIE）系统刻蚀多层难熔金属的可行性。
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二硅化钼因较高的熔点、抗热冲击性、良好的导热性和优异的高温抗氧化性能可作为难熔金属钼及其合金高温抗氧化涂层。
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